Dünnfilm-Prozesse

Dünnfilm-Prozesse sind im zunehmenden Maße eine Schlüsseltechnologie für neuartige Hightech-Produkte. Bespiele dafür sind die organische Elektronik (einschließlich organischer LEDs und organischer Solarzellen), die Displaytechnologie, die Sensortechnologie oder die Mikroelektronik.

Dabei stellen Dünnschichten die Entwickler vor ganz neue Herausforderungen – sie müssen auf wenige Moleküllagen genau hergestellt, dann aber auch genau so präzise wieder strukturiert werden. Richtig eingesetzt, kann der Laser hier seine Stärken in exzellenter Weise ausspielen. Er kann sehr dünne Filme gezielt abtragen, ohne das darunter liegende empfindliche Substrat zu schädigen. Er kann die Schichteigenschaften präzise verändern oder Mikrostrukturen erzeugen. Aufgrund seiner Flexibilität kann ein Laser Dünnfilme auf starren Substraten bearbeiten, aber auch in zukunftsweisenden Rolle-zu-Rolle-Verfahren eingesetzt werden.

LUNOVU-Lasersysteme für Dünnfilm-Prozesse werden auf das Genaueste auf die zu bearbeitenden Materialien abgestimmt. Fundiertes Anwendungs- und Prozesswissen der LUNOVU-Spezialisten ist dazu eine Grundvoraussetzung. Eine enge Zusammenarbeit mit Materialwissenschaftlern, Prozessentwicklern und Endanwendern stellt sicher, dass der technologische Vorsprung weiter ausgebaut wird und auch komplexe Dünnfilm-Prozesse zuverlässig in die Produktion überführt werden.

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